Anwendungsspezifische Systemtechnik

Pneumatischer Antrieb für ein Vakuumventil mit integrierter Ablaufsteuerung

Produktinformationen

Pneumatischer Antrieb für ein Vakuumventil mit integrierter Ablaufsteuerung

Dieser Antrieb dient zur Steuerung eines Ventils in der Vakuumtechnik, die vor allem in der Halbleiter- und Datenspeichertechnik zum Einsatz kommt. Der kompakte Drehantrieb ermöglicht Drehwinkel bis 53° und wird durch eine Feder zurückgestellt. Er hat eine integrierte optische Stellungsanzeige und ist mit Steuerventilen für zwei verschiedene Bewegungsabläufe ausgerüstet.

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